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外文名 HEXAMETHYLDISILAZANE
分 子 式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3
分 子 量 161.39
性 状 无色透明液体、无毒、
别 名 双（三甲基硅）胺烷
密度(25℃)g/cm3：0.770—0.780 折光率()：1.408±0.002
六甲基二硅氮烷含量(%)：≥99.0 六甲基二硅氧烷含量(%)：≤0.7
三甲基硅醇含量%：≤ 0.3 闪点：27℃
沸点：126℃ 色度：≤10
用 途：特种有机合成。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。
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